PEEK多孔晶圆夹具
2026-05-05 11:11:22
采用高纯度PEEK原材料精密机加工成形。其一体化多孔结构为湿法工艺中的化学药液提供高效导流与充分交换，从根本上消除局部积液与处理盲区，保障晶圆全表面的工艺均一性。得益于PEEK材质的卓越性能，该夹具能长期耐受高温以及强酸、强碱、有机溶剂等苛刻化学介质，无溶胀、无析出，极大降低了晶圆金属污染风险。同时，低颗粒脱落与抗静电特性确保在洁净室环境下的安全使用。精密加工的多孔阵列减轻自重，优化应力分布，防止高温形变并缓冲搬运冲击。多孔布局提供均衡多点支撑，低应力无痕固持，适配不同尺寸晶圆。广泛适用于半导体清洗、刻蚀、电镀与兆声波处理等制程，是晶圆湿法工艺的理想承载治具。
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